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無塵車間的原則:

無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)(HVAC)、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設(shè)計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。高1效率的設(shè)計和高1效率設(shè)備需要很大的前期投入。

無塵車間內(nèi)的潔凈工作臺可根據(jù)產(chǎn)品要求或其他用途的要求，

在操作臺上保持高潔凈度的局部凈化。潔凈工作臺可以在操作臺的局部空間形成無菌、無塵的局部凈化，其主要組成部件有預(yù)過濾器、過濾器、風(fēng)機(jī)機(jī)組、外殼、靜壓箱、臺面和配套的電器元器件等。無塵車間的潔凈工作臺的構(gòu)造要求:臺面，采用木質(zhì)塑料貼面貼于層壓板上做成臺面，或采用不銹鋼做臺面;箱體，用熱扎薄鋼板與骨架氣焊易變形，可采用冷軋薄板折邊搭接，大電流電焊，內(nèi)表面需粘貼消聲材料。

無塵車間應(yīng)每日消毒，

包括門把手、工作臺等。涉及多人操作的設(shè)備，應(yīng)每班對操作按鈕、把手等人員接觸較多的物體或部件表面進(jìn)行消毒。物品表面和地面可使用250mg/L～500mg/L含氯（）或二氧化氯消毒液擦拭和噴灑消毒，30分鐘后再用清水擦凈。無塵車間潔凈技術(shù)控制過濾的灰塵一般是0.1---10μm的塵埃子，微生物主要附著在塵埃粒子上，因此將空氣中的塵埃粒子有效地控制，也能在一定程度上控制病毒。